1.中心频率
　　是指频率调节范围的中间值，即振荡器频率的最大值和最小值的中间值，中心频率的大小取决于振荡器的结构和元器件参数，而且还随着工艺和温度相应改变;随着科学技术的不断发展和产品性能的调高，现如今CMOS压控振荡器的中心频率能够达到10GHz。
2.调谐范围
　　是指调节输出频率的变化范围，即振荡器的最大调谐频率和最小调谐频率的差值 压控振荡器要有足够大的调谐范围才能满足输出频率达到所需要的值。
3.调谐增益
　　即压控振荡器的灵敏度，是指单位的输入电压与输出频率的变化，一般用Kv表示，单位是Hz/V，在实际应用上讲，压控器的灵敏度越高，噪声响应在控制线路上越强，结果干扰输出频率就越大，就会使压控振荡器的噪声性能降低。所以需要寻找VCO的增益和噪声性能的平衡。
4.输出振幅
　　即VCO输出频谱的峰值。通过优化相位噪声，就要尽可能的加大输出电压时的幅值，从而会使压控增益 降低。不断减少，要提高输出的幅值尤其重要伴随着CMOS工艺的不断发展，输入电压不断减少，要提高输出的幅值尤其重要。
5.调谐线性度
　　就是指压控增益 ，理想的压控振荡器其是常数，实际工作中压控振荡器的表现是非线性的，要想在整个调谐范围内使 。为常数，尽量使其在调谐范围内变化最小。
6.相位噪声
　　振荡器进入稳定状态时，电路中的噪声干扰电路工作，这就是相位噪声。单位是dBc/Hz.
7.功耗
　　在工作中，电路中的噪声、降低功耗是CMOS压控振荡器主要的研究方向，振荡器的功耗与工作的频率、输入的电压及输出的频率大小等有密切联系。目前振荡器功耗能达到一到几十mW。
8.其他性能指标
　　输出频率的频谱密度，由于噪声等其他影响，输出的波形并不是理想波形，为了尽量使其达到理想波形，设计电路时要抑制谐波的存在;电源与共模抑制，电源噪声对压控振荡器影响也较大，为了达到较好的共模抑制，在设计时要视情况采取差动线路或其他线路。